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半导体电子高纯溶剂痕量水在线监测
半导体电子高纯溶剂痕量水在线监测
JZ-EX-CAW系列产品采用分体式设计,主要由光谱传感器和多功能主机组成,利用近红外吸收光谱原理,通过传感器测量,多功能主机显示及控制。适用于液体中含水量及微量水的含量检测。
产品特点
• 高稳连续光源
• 恒温探测器
• 全自动清洗
• 痕量水测量
应用领域
微量水分析:电解液,盐酸、硝酸、磷酸等无机酸,NaCl、KCl、CaCO₂等无机盐,DMF、NMP、DMAC、DMSO 等有机溶剂,精馏化学品成品等;
含水量分析:甲酸、乙酸、甲醇、乙醇、甲醛、乙醛、己内酰胺、己内酯、环氧氯丙烷等有机物。
技术参数 Technical sheet
参数值 | |
测量项目 | 吸光度、含水量、温度 |
测量范围 | 最小量程:0 至 0.05 CU 最大量程:0 至 3.0CU 最小量程:0 至 10ppm 最大量程:0 至 99% |
光程范围 | 1 至 50mm (可定制) |
波长范围 | 900 至 2500nm 特定光谱 |
重复精度 | <±0.5%,与量程有关 |
光源 | 钨灯,使用寿命≥30000 小时 |
测量时间 | 0.1 至 60 秒 |
环境温度 | -20℃ 至 +50℃ |
过程温度 | -30℃ 至 +150℃(特殊温度可定制) |
光学窗口 | 光学级蓝宝石 |
关键材质 | 触液面材质:SUS316L、哈氏合金、钛、PFA 等;外壳:不锈钢 |
输入电源 | DC 24V 或 AC 220V |
信号输出 | DC 4 至 20mA;RS485;2 至 4 路开关量信号输出 |
防爆等级 | 传感器:本安型 ExiaⅡCT6Ga 防爆主机:ExdⅡBT4/T6 或 ExdⅡCT4/T6 |
防护等级 | IP65 |
工艺压力 | ≤1.0 MPa (更高耐压需要定制) |
过程连接 | DN25 规格的旁路管道安装 |
清洗选项 | 窗口自动清洗组件,清洗周期可调 |
工况:半导体电子化学品高纯溶剂生产,要求水分控制在百 ppm 以内,对洁净度要求高,不能引入污染。
安装点位:精馏成品灌装前旁路。
监测参数:高纯溶剂痕量水。
痛点:取样环境极易吸水,造成检测虚高;传统在线设备容易带来介质污染。
应用成效:非接触式光谱测量,不会污染物料;实时监控成品水分,保障电子化学品出厂指标,减少离线化验耗材费用。
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